Лазерное осаждение аморфных алмазоподобных пленок из жидких ароматических углеводородов

Экспериментально исследовано осаждение аморфных алмазоподобных пленок на прозрачные подложки путем облучения границы их раздела с жидкими углеводородами (толуол C₆H₅CH₃, бензол C₆H₆, кумол C₆H₅CH(CH₃)₂) излучением лазера на парах меди (длина волны 510.6 нм, длительность импульса 20 нс). Пленки исследованы с помощью рентгеновской оже-спектроскопии, дифракции быстрых электронов, сканирующей электронной микроскопии и спектроскопии комбинационного рассеяния. Доля sp³-фракции в осажденных пленках достигает 50 — 70% в зависимости от выбора углеводорода. Средняя толщина пленок составляет 100 — 200 нм, а микротвердость достигает 50 — 70 ГПа.