Измерение градиента показателя преломления по толщине диэлектрической пленки методом возбуждения волноводных мод

Предложен метод измерения градиента показателя преломления $n(z)$ в неоднородных по толщине диэлектрических пленках. Метод основан на возбуждении волноводных мод в пленке с помощью призмы нарушенного полного внутреннего отражения и на расчете $n(z)$ и толщины $H_f$ пленки, исходя из угловых положений TE или TM мод. Он может использоваться при произвольной форме модуляции показателя преломления по толщине пленки в пределе слабого градиента $(\Delta n(z)/n(z)\ll 1)$.