|
Квантовая электроника, 2011, том 41, номер 9, страницы 829–834
(Mi qe14530)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 19 научных статьях (всего в 19 статьях)
Воздействие лазерного излучения на вещество
Формирование квазипериодических нано- и микроструктур на поверхности кремния под действием ИК и УФ фемтосекундных лазерных импульсов
А. А. Ионинa, С. И. Кудряшовa, С. В. Макаровa, Л. В. Селезневa, Д. В. Синицынa, Е. В. Голосовb, О. А. Голосоваb, Ю. Р. Колобовb, А. Е. Лигачевc a Физический институт им. П. Н. Лебедева Российской академии наук, г. Москва
b Белгородский государственный университет
c Институт общей физики им. А. М. Прохорова РАН, г. Москва
Аннотация:
С помощью ИК (λ ≈ 744 нм) и УФ (λ ≈ 248 нм) фемтосекундных лазерных импульсов получены квазипериодические нано- и микроструктуры на поверхности кремния. Исследована зависимость топологии структурированной поверхности от плотности энергии падающего излучения и числа импульсов. Определены пороги наноструктурирования кремния для указанных длин волн. Обнаружено явление возникновения модуляции рельефа поверхности на удвоенной пространственной частоте и предложено его качественное объяснение. Проведены сравнительный анализ и обсуждение периодов наноструктур, полученных на поверхности кремния под действием ИК и УФ фемтосекундных лазерных импульсов.
Поступила в редакцию: 30.12.2010 Исправленный вариант: 29.06.2011
Образец цитирования:
А. А. Ионин, С. И. Кудряшов, С. В. Макаров, Л. В. Селезнев, Д. В. Синицын, Е. В. Голосов, О. А. Голосова, Ю. Р. Колобов, А. Е. Лигачев, “Формирование квазипериодических нано- и микроструктур на поверхности кремния под действием ИК и УФ фемтосекундных лазерных импульсов”, Квантовая электроника, 41:9 (2011), 829–834 [Quantum Electron., 41:9 (2011), 829–834]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe14530 https://www.mathnet.ru/rus/qe/v41/i9/p829
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 449 | PDF полного текста: | 138 | Список литературы: | 42 | Первая страница: | 1 |
|