А. А. Ионин, С. И. Кудряшов, С. В. Макаров, Л. В. Селезнев, Д. В. Синицын, Е. В. Голосов, О. А. Голосова, Ю. Р. Колобов, А. Е. Лигачев, “Формирование квазипериодических нано- и микроструктур на поверхности кремния под действием ИК и УФ фемтосекундных лазерных импульсов”, Квантовая электроника, 41:9 (2011), 829–834 [Quantum Electron., 41:9 (2011), 829

Квантовая электроника

RUS ENG

ЖУРНАЛЫ ПЕРСОНАЛИИ ОРГАНИЗАЦИИ КОНФЕРЕНЦИИ СЕМИНАРЫ ВИДЕОТЕКА ПАКЕТ AMSBIB

JavaScript is disabled in your browser. Please switch it on to enable full functionality of the website

	Общая информация
	Последний выпуск
	Архив
	Импакт-фактор
	Правила для авторов
	Загрузить рукопись

	Поиск публикаций
	Поиск ссылок

	RSS
	Последний выпуск
	Текущие выпуски
	Архивные выпуски
	Что такое RSS

Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
	Найти

Персональный вход:
Логин:
Пароль:
	Запомнить пароль
	Войти
	Забыли пароль?
	Регистрация

Квантовая электроника, 2011, том 41, номер 9, страницы 829–834 (Mi qe14530)

Эта публикация цитируется в 19 научных статьях (всего в 19 статьях)

Воздействие лазерного излучения на вещество

Формирование квазипериодических нано- и микроструктур на поверхности кремния под действием ИК и УФ фемтосекундных лазерных импульсов

А. А. Ионин^a, С. И. Кудряшов^a, С. В. Макаров^a, Л. В. Селезнев^a, Д. В. Синицын^a, Е. В. Голосов^b, О. А. Голосова^b, Ю. Р. Колобов^b, А. Е. Лигачев^c

^a Физический институт им. П. Н. Лебедева Российской академии наук, г. Москва
^b Белгородский государственный университет
^c Институт общей физики им. А. М. Прохорова РАН, г. Москва

PDF полного текста (2934 kB) Список цитирования (19)

Список литературы:

PDF

HTML

Аннотация: С помощью ИК (λ ≈ 744 нм) и УФ (λ ≈ 248 нм) фемтосекундных лазерных импульсов получены квазипериодические нано- и микроструктуры на поверхности кремния. Исследована зависимость топологии структурированной поверхности от плотности энергии падающего излучения и числа импульсов. Определены пороги наноструктурирования кремния для указанных длин волн. Обнаружено явление возникновения модуляции рельефа поверхности на удвоенной пространственной частоте и предложено его качественное объяснение. Проведены сравнительный анализ и обсуждение периодов наноструктур, полученных на поверхности кремния под действием ИК и УФ фемтосекундных лазерных импульсов.

Поступила в редакцию: 30.12.2010
Исправленный вариант: 29.06.2011

Англоязычная версия:
Quantum Electronics, 2011, Volume 41, Issue 9, Pages 829–834
DOI: https://doi.org/10.1070/QE2011v041n09ABEH014530

Реферативные базы данных:

Тип публикации: Статья

PACS: 81.07.-b, 81.16.-c, 42.65.Re

Образец цитирования: А. А. Ионин, С. И. Кудряшов, С. В. Макаров, Л. В. Селезнев, Д. В. Синицын, Е. В. Голосов, О. А. Голосова, Ю. Р. Колобов, А. Е. Лигачев, “Формирование квазипериодических нано- и микроструктур на поверхности кремния под действием ИК и УФ фемтосекундных лазерных импульсов”, Квантовая электроника, 41:9 (2011), 829–834 [Quantum Electron., 41:9 (2011), 829–834]

Образцы ссылок на эту страницу:

https://www.mathnet.ru/rus/qe14530

https://www.mathnet.ru/rus/qe/v41/i9/p829

Эта публикация цитируется в следующих 19 статьяx:

Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles

Что такое QR-код?

Обратная связь:

Пользовательское соглашение

Регистрация посетителей портала

Логотипы