|
Квантовая электроника, 2010, том 40, номер 11, страницы 1021–1033
(Mi qe14443)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 29 научных статьях (всего в 29 статьях)
Фотоника и нанотехнологии
Импульсная лазерная абляция бинарных полупроводников: механизмы испарения и генерация кластеров
А. В. Булгаковa, А. Б. Евтушенкоa, Ю. Г. Шуховa, И. Озеровb, В. Маринb a Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе Сибирского отделения Российской академии наук
b Université de la Mediterranée, CINaM, UPR CNRS, Marseille, France
Аннотация:
Проведено сравнительное исследование формирования малых кластеров при импульсной абляции в вакууме двух бинарных полупроводников, оксида цинка и фосфида индия, лазерными импульсами УФ, видимого и ИК диапазонов. Найдены условия облучения, при которых в продуктах абляции образуются нейтральные и заряженные кластеры ZnnOm и InnPm различной стехиометрии. Методом времяпролетной масс-спектрометрии анализировались размер и состав кластеров, динамика их разлета и реакционная способность. Особое внимание уделено изучению механизмов абляции ZnO и InP в зависимости от интенсивности излучения с привлечением различных моделей абляции. Установлено, что ZnO испаряется конгруэнтно в широком диапазоне условий облучения, а при абляции InP поверхность мишени обогащается индием. Показано, что столь разный характер абляции полупроводников определяет состав формирующихся наноструктур: кластеры оксида цинка являются преимущественно стехиометрическими, тогда как частицы InnPm существенно обогащены индием.
Поступила в редакцию: 19.08.2010
Образец цитирования:
А. В. Булгаков, А. Б. Евтушенко, Ю. Г. Шухов, И. Озеров, В. Марин, “Импульсная лазерная абляция бинарных полупроводников: механизмы испарения и генерация кластеров”, Квантовая электроника, 40:11 (2010), 1021–1033 [Quantum Electron., 40:11 (2010), 1021–1033]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe14443 https://www.mathnet.ru/rus/qe/v40/i11/p1021
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 377 | PDF полного текста: | 251 | Список литературы: | 41 | Первая страница: | 1 |
|