Изменение морфологии поверхности и химического состава некоторых оксидных кристаллов под действием лазерного излучения УФ диапазона

Изучено воздействие излучения лазеров на KrF (λ=248 нм) и YAG:Nd³⁺ (λ=355 нм) на морфологию поверхности и химический состав кристаллов SrTiО₃, Sr₂RuO₄, PbMoO₄, LiNbO₃, Y₃Al₅O₁₂ и Al₂O₃. Определена взаимосвязь между плотностью энергии излучения на поверхности образца и возникающей на ней шероховатостью. Предложена методика точного определения геометрических характеристик поверхности. Исследовано влияние шероховатости поверхности на данные рентгеновского микроанализа, полученные с помощью аналитической системы энергодисперсионного рентгеновского микроанализа (EDX). Разработана методика корректировки данных EDX для образцов с шероховатой поверхностью. Показано, что незначительное изменение состава образцов PbMoO₄, LiNbO₃, Y₃Al₅O₁₂, Al₂O₃ после лазерной обработки может быть результатом ошибки измерений, обусловленной изменением шероховатости поверхности. В приповерхностном слое кристаллов SrTiО₃ и Sr₂RuO₄ после их обработки излучением YAG:Nd-лазера наблюдается изменение химического состава.