Апериодические многослойные зеркала нормального падения на основе сурьмы для области спектра 8 — 13 нм

Проанализированы оптические свойства ряда материалов с точки зрения создания широкополосных многослойных зеркал нормального падения, обладающих максимальным равномерным отражением в диапазоне 8 — 13 нм. Путем решения обратной задачи многослойной оптики показано, что апериодические многослойные структуры Sb/(B₄C, Sc, Si), оптимизированные на максимальное равномерное отражение в диапазоне 8 — 13 нм, способны обеспечить в этом диапазоне коэффициент отражения R ~10 % при нормальном падении излучения. Наилучшие результаты показывает пара Sb/B₄C, для которой средний коэффициент отражения составляет около 13%. Численно исследована зависимость результата оптимизации от программно вводимого ограничения на минимальную толщину слоев многослойной структуры. Установлено эмпирическое правило, согласно которому ограничение толщины слоев снизу на уровне ~λ_min (в данном случае λ_min=8 нм) не ведет к сколько-нибудь значительному уменьшению достижимого равномерного коэффициента отражения.