Мощный источник света в экстремальном УФ диапазоне (13.5 нм)

Приводятся характеристики разрядного источника излучения в спектральной полосе 13.5 ± 0.135 нм, предназначенного для использования в EUV (Extreme Ultra Violet) сканере. Излучение генерируется в разрядной плазме в парах олова, которая создается между вращающимися дисковыми электродами при инициировании разряда сфокусированным лазерным излучением. Достигнут вклад электрической мощности в плазму ~63 кВт при частоте следования импульсов до 7 кГц. Мощность EUV излучения в спектральной полосе 13.5 ± 0.135 нм составила около 1000 Вт в пересчете на угол 2π ср. Приводится сравнение результатов расчетного моделирования с экспериментом.