Некоторые особенности формирования фотолитографических изображений в частично когерентном излучении

Приведены результаты экспериментального исследования уровня когерентных шумов в проекционных изображениях резкого края непрозрачного экрана, формируемых в модельной схеме фотолитографической установки при различной степени пространственной когерентности освещающего экран излучения. Уменьшение пространственной когерентности лазерного излучения осуществлялось с помощью разработанного устройства, входившего в состав макета установки в качестве отдельного функционального элемента. Достигнута высокая эффективность сглаживания в полученных изображениях пространственных флуктуаций интенсивности излучения, обусловленных случайной пространственной неоднородностью интенсивности исходного лазерного пучка.