|
Квантовая электроника, 1999, том 26, номер 1, страницы 69–72
(Mi qe1414)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)
Применения лазеров и другие вопросы квантовой электроники
Анализ комплексного отклика гетеродинного дифференциального интерферометра на микроступенчатый профиль
Д. В. Баранов, А. А. Егоров, Е. М. Золотов Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН, г. Москва
Аннотация:
Разработан экспресс-метод определения параметров микроступенчатого профиля (высоты и ширины), основанный на сравнении комплексных модельных откликов с экспериментальным. Достигнуто сверхразрешение в определении латеральных параметров объекта при использовании априорной информации о его форме.
Поступила в редакцию: 15.10.1998
Образец цитирования:
Д. В. Баранов, А. А. Егоров, Е. М. Золотов, “Анализ комплексного отклика гетеродинного дифференциального интерферометра на микроступенчатый профиль”, Квантовая электроника, 26:1 (1999), 69–72 [Quantum Electron., 29:1 (1999), 69–72]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe1414 https://www.mathnet.ru/rus/qe/v26/i1/p69
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 180 | PDF полного текста: | 72 | Первая страница: | 1 |
|