|
Квантовая электроника, 2009, том 39, номер 4, страницы 385–387
(Mi qe13909)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Лазерные технологии
Технологии перфорации близкорасположенных микронных отверстий с использованием неодимовых LiF:F2--лазеров
Т. Т. Басиевa, А. Я. Карасикa, В. В. Осикоb, А. Г. Папашвилиa, Д. С. Чунаевa, А. В. Гавриловc, М. Н. Ершковc, С. Н. Сметанинc, С. А. Солохинc, А. В. Фединc, В. Н. Колокольцевd, В. М. Лазоренкоd, В. И. Товтинd a Научный центр лазерных материалов и технологий, Институт общей физики им. А. М. Прохорова РАН, г. Москва
b Институт общей физики им. А. М. Прохорова РАН, г. Москва
c Ковровская государственная технологическая академия
d Институт металлургии и материаловедения им. А. А. Байкова РАН, г. Москва
Аннотация:
Исследованы пикосекундная (на основе кристаллов YLF:Nd — LiF:F2-) и наносекундная (YAG:Nd — LiF:F2-) лазерные технологии перфорации близкорасположенных микронных отверстий в алюминиевой фольге для микроэлектроники, медицины и биологии. Получены двумерные матрицы отверстий c диаметрами 2 — 20 мкм, находящихся на расстоянии 8 — 30 мкм друг от друга, в алюминиевой фольге толщиной 20 мкм. Показаны возможности увеличения плотности расположения отверстий и уменьшения их диаметра при управлении режимом лазерного воздействия. Получен образец перфорированной алюминиевой фольги, в котором суммарная площадь микронных отверстий составляет более 30% площади поверхности.
Поступила в редакцию: 02.06.2008 Исправленный вариант: 25.11.2008
Образец цитирования:
Т. Т. Басиев, А. Я. Карасик, В. В. Осико, А. Г. Папашвили, Д. С. Чунаев, А. В. Гаврилов, М. Н. Ершков, С. Н. Сметанин, С. А. Солохин, А. В. Федин, В. Н. Колокольцев, В. М. Лазоренко, В. И. Товтин, “Технологии перфорации близкорасположенных микронных отверстий с использованием неодимовых LiF:F2--лазеров”, Квантовая электроника, 39:4 (2009), 385–387 [Quantum Electron., 39:4 (2009), 385–387]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe13909 https://www.mathnet.ru/rus/qe/v39/i4/p385
|
|