Высокочастотные УФ лазеры с индуктивно-емкостной стабилизацией разряда

Представлены результаты исследований компактных высокочастотных эксимерных XeF- и KrF-лазеров, а также N₂-лазера с пластинчатыми электродами и индуктивно-емкостной стабилизацией разряда. Проведена оптимизация состава и давления активной среды лазеров с целью получения максимальной энергии и частоты следования импульсов излучения при сравнительно низких (не более 19 м/с) скоростях прокачки активной среды в межэлектродном промежутке. Реализована частота следования импульсов излучения до 4—5 кГц при относительном среднеквадратичном отклонении энергии лазерных импульсов, не превышающем 2%. Отмечено периодическое изменение энергии импульсов N₂-лазера под влиянием акустических возмущений, возникающих в высокочастотном режиме. Показано, что использование индуктивно-емкостной стабилизации разряда приводит к увеличению предельных частот следования импульсов излучения на 0.5—1.5 кГц (в зависимости от типа активной среды лазера). Отмечена зависимость стабильности энергии и предельной частоты следования импульсов от расположения искр предыонизации относительно направления потока газа. Предложены некоторые пути развития технологии пластинчатых электродов и индуктивно-емкостной стабилизации разряда.