Ю. К. Верёвкин, А. Ю. Климов, Б. А. Грибков, В. Н. Петряков, Е. В. Копосова, С. М. Олайзола, “Наноразмерный рельеф: от фазовых масок до антиотражающих структур на кварце и кремнии”, Квантовая электроника, 38:11 (2008), 1078–1082 [Quantum Electron., 38:11 (2008), 1078

Квантовая электроника

RUS ENG

ЖУРНАЛЫ ПЕРСОНАЛИИ ОРГАНИЗАЦИИ КОНФЕРЕНЦИИ СЕМИНАРЫ ВИДЕОТЕКА ПАКЕТ AMSBIB

JavaScript is disabled in your browser. Please switch it on to enable full functionality of the website

	Общая информация
	Последний выпуск
	Архив
	Импакт-фактор
	Правила для авторов
	Загрузить рукопись

	Поиск публикаций
	Поиск ссылок

	RSS
	Последний выпуск
	Текущие выпуски
	Архивные выпуски
	Что такое RSS

Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
	Найти

Персональный вход:
Логин:
Пароль:
	Запомнить пароль
	Войти
	Забыли пароль?
	Регистрация

Квантовая электроника, 2008, том 38, номер 11, страницы 1078–1082 (Mi qe13723)

Применения лазеров и другие вопросы квантовой электроники

Наноразмерный рельеф: от фазовых масок до антиотражающих структур на кварце и кремнии

Ю. К. Верёвкин^a, А. Ю. Климов^a, Б. А. Грибков^a, В. Н. Петряков^a, Е. В. Копосова^a, С. М. Олайзола^b

^a Институт прикладной физики РАН, г. Нижний Новгород
^b Centro de Estudios e Investigaciones Technical de Guipuzcoa, Donostia-San Sebastian, Spain

PDF полного текста (274 kB)

Аннотация: С использованием интерференции импульсного излучения и полного цикла литографии созданы фазовые маски на кварце и антиотражающие структуры на кварце и кремнии. При помощи компьютерной программы на основе строгого решения интегрального уравнения рассчитано пропускание гофрированной границы вакуум — твёрдое тело для параметров, близких к параметрам экспериментальных структур. Результаты измерений достаточно хорошо согласуются с расчётами. Разработанные методы могут быть полезны для создания оптических и полупроводниковых устройств.

Поступила в редакцию: 21.08.2007
Исправленный вариант: 01.04.2008

Англоязычная версия:
Quantum Electronics, 2008, Volume 38, Issue 11, Pages 1078–1082
DOI: https://doi.org/10.1070/QE2008v038n11ABEH013723

Реферативные базы данных:

Тип публикации: Статья

PACS: 81.16.Nd, 81.16.Rf

Образец цитирования: Ю. К. Верёвкин, А. Ю. Климов, Б. А. Грибков, В. Н. Петряков, Е. В. Копосова, С. М. Олайзола, “Наноразмерный рельеф: от фазовых масок до антиотражающих структур на кварце и кремнии”, Квантовая электроника, 38:11 (2008), 1078–1082 [Quantum Electron., 38:11 (2008), 1078–1082]

Образцы ссылок на эту страницу:

https://www.mathnet.ru/rus/qe13723

https://www.mathnet.ru/rus/qe/v38/i11/p1078

Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles

Что такое QR-код?

Обратная связь:

Пользовательское соглашение

Регистрация посетителей портала

Логотипы