Высокоскоростное аблирование сверхглубоких каналов фазово-сопряженным Nd:ИАГ-лазером с динамически регулируемой пассивной модуляцией добротности

Исследованы параметры высокоскоростного аблирования сверхглубоких каналов при регулируемом импульсно-периодическом облучении цугами импульсов одномодового фазово-сопряженного Nd:ИАГ-лазера с динамическим резонатором с частотой повторения импульсов в цуге 40 – 250 кГц, их длительностью 20 – 200 нс и энергией 70 – 250 мДж. Найдены оптимальные параметры обработки, при которых в сверхглубоком канале поддерживается долгоживущая область горячего разреженного газа, уменьшающая экранирующее действие приповерхностной плазмы. Применение метода управления процессом лазерной генерации во время абляции оптимизирует процессы не только нагрева и плазмообразования, но и выноса обрабатываемого материала в паузе между лазерными импульсами. Использование адаптивного регулирования параметров генерации лазера в процессе аблирования позволило получить сверхглубокие каналы длиной 8 – 27 мм с диаметрами входных и выходных отверстий 80 – 300 мкм в металлах (алюминий, сталь, никелевый суперсплав Inconel 718) и сверхтвердой керамике (Al₂O₃, AlN, SiC).