Аннотация:
На базе непрерывного СО2-лазера мощностью до 5 кВт создан плазмотрон атмосферного давления для газофазного синтеза алмазных пленок. Определены условия существования лазерной плазмы в молекулярных газовых смесях. Измерены минимальные значения мощности излучения, необходимой для поддержания непрерывного оптического разряда (НОР) при различных концентрациях компонентов газовых смесей Ar — CH4 — H2 и скоростях потока. Исследованы спектры излучения плазмы НОР в чистом Ar и в рабочей смеси Ar — H2 — CH4 вдоль и поперек направления распространения плазменной струи. В спектре периферийной области плазмы, отличающейся характерным свечением зеленого цвета, обнаружены интенсивные линии радикала С2, ответственного, по нашему мнению, за формирование поликристаллических алмазных пленок.
Поступила в редакцию: 20.04.2007 Исправленный вариант: 08.08.2007
Образец цитирования:
А. П. Большаков, В. И. Конов, В. Г. Востриков, В. Ю. Дубровский, Ф. К. Косырев, В. Г. Наумов, Л. В. Шачкин, “Исследование плазмы оптического разряда в многокомпонентных смесях молекулярных газов”, Квантовая электроника, 38:2 (2008), 165–168 [Quantum Electron., 38:2 (2008), 165–168]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe13599
https://www.mathnet.ru/rus/qe/v38/i2/p165
Эта публикация цитируется в следующих 7 статьяx:
A. F. Glova, I. D. Klochkov, A. Yu. Lysikov, E. D. Radchenko, L. I. Knyazeva, A. N. Kirichenko, Russ. J. Phys. Chem., 98:12 (2024), 2865
A. F. Glova, I. D. Klochkov, A. Yu. Lysikov, L. I. Knyazeva, A. N. Kirichenko, V. A. Barsuk, Phys. Atom. Nuclei, 85:10 (2022), 1766