Аннотация:
На базе непрерывного СО2-лазера мощностью до 5 кВт создан плазмотрон атмосферного давления для газофазного синтеза алмазных пленок. Определены условия существования лазерной плазмы в молекулярных газовых смесях. Измерены минимальные значения мощности излучения, необходимой для поддержания непрерывного оптического разряда (НОР) при различных концентрациях компонентов газовых смесей Ar — CH4 — H2 и скоростях потока. Исследованы спектры излучения плазмы НОР в чистом Ar и в рабочей смеси Ar — H2 — CH4 вдоль и поперек направления распространения плазменной струи. В спектре периферийной области плазмы, отличающейся характерным свечением зеленого цвета, обнаружены интенсивные линии радикала С2, ответственного, по нашему мнению, за формирование поликристаллических алмазных пленок.
Поступила в редакцию: 20.04.2007 Исправленный вариант: 08.08.2007
Образец цитирования:
А. П. Большаков, В. И. Конов, В. Г. Востриков, В. Ю. Дубровский, Ф. К. Косырев, В. Г. Наумов, Л. В. Шачкин, “Исследование плазмы оптического разряда в многокомпонентных смесях молекулярных газов”, Квантовая электроника, 38:2 (2008), 165–168 [Quantum Electron., 38:2 (2008), 165–168]