Многосекционный KrF-лазер с частотой повторения 4 кГц и индуктивно-емкостной стабилизацией разряда

Разработан электроразрядный KrF-лазер с индуктивно-емкостной стабилизацией разряда и частотой повторения импульсов до 4 кГц. Многосекционный разрядный промежуток с общей длиной 25 см формировался 25 парами анодно-катодных пластин. Реализована ширина разряда не более 1 мм. В качестве буферных газов использовались Ne и Не, донором фтора служил F₂. Максимальная энергия импульса генерации составила ~6 мДж для смеси Ne–Kr–F₂ при полном давлении 1.6–3.2 атм. Максимальная эффективность лазера была равна ~1.4%. Для измерения скорости газа в рабочем промежутке применялась оригинальная оптическая методика. Максимальная скорость газа в межэлектродном промежутке составила в экспериментах 19 м/с. Средняя мощность лазерного излучения при частотах повторения импульсов 3–4 кГц достигала ~12 Вт, а относительное среднеквадратичное отклонение энергии лазерных импульсов равнялось 2%–3.8%. Показано, что на формирование поля лазерного излучения в резонаторе существенное влияние оказывает градиент показателя преломления активной среды, связанный с концентрацией свободных электронов в плазме разряда. Характерный градиент показателя преломления для длины волны KrF-лазера составил не менее 10^-5 см^-1.