Исследование волноводных структур, полученных облучением плавленого кварца ионами водорода

Исследованы зависимости эффективного показателя преломления для мод, распространяющихся в волноводах, полученных облучением плавленого кварца ионами водорода, от дозы имплантации, энергии ионов и температуры отжига. Оценена величина изменения показателя преломления Δn в облученном слое. Показано, что в интервале температур отжига 600–700° С происходит уменьшение толщины волновода, в то время как величина Δn заметно не меняется. Продемонстрирована работа двух интегрально-оптических компонент – селектора мод и волноводного поляризатора, изготовленного на этих волноводах.