Зависимость интенсивности фотолюминесценции от качества подготовки поверхности и свойств InP n-типа

Проведено комплексное изучение связи интенсивности фотолюминесценции и эффективного времени жизни носителей с качеством обработки поверхности пластин (нарушения, толщина оксидного слоя) и исходными свойствами материала (поверхностные и объемные дефекты, неоднородность распределения легирующей примеси).