Когерентно-оптическая система с синтезированной апертурой для контроля геометрических параметров объекта

Рассмотрены оптические системы с разрешающей способностью, превышающей дифракционный предел, на основе оптического синтеза апертуры посредством введения в предметное пространство мультиплицирующего оптического элемента, например дифракционной решетки, при дифракции на котором луч света, соответствующий пространственной частоте спектра предмета, лежащей вне пределов апертуры, отклоняется таким образом, что попадает в апертуру. Анализируется использование сверхразрешающих систем с оптическим синтезом апертуры в промышленности для измерения линейных размеров и перемещений. Показана возможность контроля локального микрорельефа поверхности по степени и виду искажения изображения точечного объекта.