Элементы волноводного тракта оптических интегральных схем на основе трехмерных оптических волноводов

Представлен обзор литературы по разработке, выбору и расчету элементов волноводного тракта оптических интегральных схем (ОИС) на основе трехмерных (канальных и полосковых) оптических волноводов (ОВ). Рассмотрены основные типы трехмерных ОВ и проведено их сравнение, обсуждены методы расчета таких волноводов. Детально рассмотрен метод эффективного показателя преломления, представляющий наибольший интерес для практики. Предложена методика выбора и расчета параметров канальных и полосковых ОВ для ОИС. Рассмотрены различные соединения трехмерных ОВ на общей подложке, волноводные переходы, рупоры, изгибы, изломы ОВ, волноводные элементы на основе связанных волноводов, разветвления и пересечения трехмерных волноводов. Приведены необходимые расчетные соотношения для выбора и оптимизации параметров волноводного тракта ОИС.