Синтез алмазных пленок с помощью лазерной плазмы

Предложен и экспериментально реализован новый метод плазменного синтеза алмазных пленок (а в перспективе и других материалов) с помощью стационарного оптического разряда в потоке смесей газов-реагентов. При использовании непрерывного СО₂-лазера мощностью 2.5 кВт и газовой смеси Xe — H₂ — CH₄ в разработанном реакторе атмосферного давления получены скорости осаждения алмазных пленок 30 — 50 мкм/ч на площади 1 см². Обсуждаются особенности и преимущества лазерно-плазменной технологии осаждения.