Loading [MathJax]/jax/output/SVG/config.js
Квантовая электроника
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов
Загрузить рукопись

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Квантовая электроника, 1998, том 25, номер 4, страницы 291–292 (Mi qe1212)  

Эта публикация цитируется в 7 научных статьях (всего в 7 статьях)

Письма в редакцию

Синтез алмазных пленок с помощью лазерной плазмы

В. И. Конов, С. А. Углов

Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН, г. Москва
Аннотация: Предложен и экспериментально реализован новый метод плазменного синтеза алмазных пленок (а в перспективе и других материалов) с помощью стационарного оптического разряда в потоке смесей газов-реагентов. При использовании непрерывного СО2-лазера мощностью 2.5 кВт и газовой смеси Xe — H2 — CH4 в разработанном реакторе атмосферного давления получены скорости осаждения алмазных пленок 30 — 50 мкм/ч на площади 1 см2. Обсуждаются особенности и преимущества лазерно-плазменной технологии осаждения.
Поступила в редакцию: 27.01.1998
Англоязычная версия:
Quantum Electronics, 1998, Volume 28, Issue 4, Pages 281–282
DOI: https://doi.org/10.1070/QE1998v028n04ABEH001212
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
PACS: 81.15.Fg, 81.15.Gh, 42.62.Cf


Образец цитирования: В. И. Конов, С. А. Углов, “Синтез алмазных пленок с помощью лазерной плазмы”, Квантовая электроника, 25:4 (1998), 291–292 [Quantum Electron., 28:4 (1998), 281–282]
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/qe1212
  • https://www.mathnet.ru/rus/qe/v25/i4/p291
  • Эта публикация цитируется в следующих 7 статьяx:
    1. A. F. Glova, I. D. Klochkov, A. Yu. Lysikov, E. D. Radchenko, L. I. Knyazeva, A. N. Kirichenko, Russ. J. Phys. Chem., 98:12 (2024), 2865  crossref
    2. A. F. Glova, I. D. Klochkov, A. Yu. Lysikov, L. I. Knyazeva, A. N. Kirichenko, V. A. Barsuk, Phys. Atom. Nuclei, 85:10 (2022), 1766  crossref
    3. П. Б. Сергеев, А. Н. Кириченко, К. С. Кравчук, Н. В. Морозов, Р. А. Хмельницкий, Квантовая электроника, 50:12 (2020), 1173–1178  mathnet; Quantum Electron., 50:12 (2020), 1173–1178  crossref  isi  elib
    4. A F Glova, A Yu Lysikov, S S Nelyubin, I D Klochkov, L K Baldaev, Yu A Novinkin, M A Stogov, J. Phys.: Conf. Ser., 1696:1 (2020), 012021  crossref
    5. Glova A.F. Lysikov A.Yu. Malyuta D.D. Nelyubin S.S. Peretyatko P.I. Ryzhkov Yu.F., Phys. Atom. Nuclei, 79:14 (2016), 1663–1670  crossref  isi  scopus
    6. Glova A.F. Lysikov A.Yu. Malyuta D.D. Nelyubin S.S. Peretyatko P.I. Ryzhkov Yu.F., II Conference on Plasma & Laser Research and Technologies, Journal of Physics Conference Series, 747, IOP Publishing Ltd, 2016, UNSP 012011  crossref  isi  scopus
    7. A.P. Bolshakov, V.I. Konov, A.M. Prokhorov, S.A. Uglov, F. Dausinger, Diamond and Related Materials, 10:9-10 (2001), 1559  crossref
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Квантовая электроника Quantum Electronics
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:244
    PDF полного текста:129
    Первая страница:1
     
      Обратная связь:
    math-net2025_03@mi-ras.ru
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025