В. И. Конов, С. А. Углов, “Синтез алмазных пленок с помощью лазерной плазмы”, Квантовая электроника, 25:4 (1998), 291–292 [Quantum Electron., 28:4 (1998), 281

Loading [MathJax]/jax/output/SVG/config.js

Квантовая электроника

RUS ENG

ЖУРНАЛЫ ПЕРСОНАЛИИ ОРГАНИЗАЦИИ КОНФЕРЕНЦИИ СЕМИНАРЫ ВИДЕОТЕКА ПАКЕТ AMSBIB

JavaScript is disabled in your browser. Please switch it on to enable full functionality of the website

	Общая информация
	Последний выпуск
	Архив
	Импакт-фактор
	Правила для авторов
	Загрузить рукопись

	Поиск публикаций
	Поиск ссылок

	RSS
	Последний выпуск
	Текущие выпуски
	Архивные выпуски
	Что такое RSS

Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
	Найти

Персональный вход:
Логин:
Пароль:
	Запомнить пароль
	Войти
	Забыли пароль?
	Регистрация

Квантовая электроника, 1998, том 25, номер 4, страницы 291–292 (Mi qe1212)

Эта публикация цитируется в 7 научных статьях (всего в 7 статьях)

Письма в редакцию

Синтез алмазных пленок с помощью лазерной плазмы

В. И. Конов, С. А. Углов

Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН, г. Москва

PDF полного текста (153 kB) Список цитирования (7)

Аннотация: Предложен и экспериментально реализован новый метод плазменного синтеза алмазных пленок (а в перспективе и других материалов) с помощью стационарного оптического разряда в потоке смесей газов-реагентов. При использовании непрерывного СО₂-лазера мощностью 2.5 кВт и газовой смеси Xe — H₂ — CH₄ в разработанном реакторе атмосферного давления получены скорости осаждения алмазных пленок 30 — 50 мкм/ч на площади 1 см². Обсуждаются особенности и преимущества лазерно-плазменной технологии осаждения.

Поступила в редакцию: 27.01.1998

Англоязычная версия:
Quantum Electronics, 1998, Volume 28, Issue 4, Pages 281–282
DOI: https://doi.org/10.1070/QE1998v028n04ABEH001212

Реферативные базы данных:

Тип публикации: Статья

PACS: 81.15.Fg, 81.15.Gh, 42.62.Cf

Образец цитирования: В. И. Конов, С. А. Углов, “Синтез алмазных пленок с помощью лазерной плазмы”, Квантовая электроника, 25:4 (1998), 291–292 [Quantum Electron., 28:4 (1998), 281–282]

Образцы ссылок на эту страницу:

https://www.mathnet.ru/rus/qe1212

https://www.mathnet.ru/rus/qe/v25/i4/p291

Эта публикация цитируется в следующих 7 статьяx:

A. F. Glova, I. D. Klochkov, A. Yu. Lysikov, E. D. Radchenko, L. I. Knyazeva, A. N. Kirichenko, Russ. J. Phys. Chem., 98:12 (2024), 2865
A. F. Glova, I. D. Klochkov, A. Yu. Lysikov, L. I. Knyazeva, A. N. Kirichenko, V. A. Barsuk, Phys. Atom. Nuclei, 85:10 (2022), 1766
П. Б. Сергеев, А. Н. Кириченко, К. С. Кравчук, Н. В. Морозов, Р. А. Хмельницкий, Квантовая электроника, 50:12 (2020), 1173–1178 ; Quantum Electron., 50:12 (2020), 1173–1178
A F Glova, A Yu Lysikov, S S Nelyubin, I D Klochkov, L K Baldaev, Yu A Novinkin, M A Stogov, J. Phys.: Conf. Ser., 1696:1 (2020), 012021
Glova A.F. Lysikov A.Yu. Malyuta D.D. Nelyubin S.S. Peretyatko P.I. Ryzhkov Yu.F., Phys. Atom. Nuclei, 79:14 (2016), 1663–1670
Glova A.F. Lysikov A.Yu. Malyuta D.D. Nelyubin S.S. Peretyatko P.I. Ryzhkov Yu.F., II Conference on Plasma & Laser Research and Technologies, Journal of Physics Conference Series, 747, IOP Publishing Ltd, 2016, UNSP 012011
A.P. Bolshakov, V.I. Konov, A.M. Prokhorov, S.A. Uglov, F. Dausinger, Diamond and Related Materials, 10:9-10 (2001), 1559

Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles

Статистика просмотров:
Страница аннотации:	244
PDF полного текста:	129
Первая страница:	1

Что такое QR-код?

Обратная связь:
math-net2025_03@mi-ras.ru

Пользовательское соглашение

Регистрация посетителей портала

Логотипы