Аннотация:
Предложен и экспериментально реализован новый метод плазменного синтеза алмазных пленок (а в перспективе и других материалов) с помощью стационарного оптического разряда в потоке смесей газов-реагентов. При использовании непрерывного СО2-лазера мощностью 2.5 кВт и газовой смеси Xe — H2 — CH4 в разработанном реакторе атмосферного давления получены скорости осаждения алмазных пленок 30 — 50 мкм/ч на площади 1 см2. Обсуждаются особенности и преимущества лазерно-плазменной технологии осаждения.
Образец цитирования:
В. И. Конов, С. А. Углов, “Синтез алмазных пленок с помощью лазерной плазмы”, Квантовая электроника, 25:4 (1998), 291–292 [Quantum Electron., 28:4 (1998), 281–282]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe1212
https://www.mathnet.ru/rus/qe/v25/i4/p291
Эта публикация цитируется в следующих 7 статьяx:
A. F. Glova, I. D. Klochkov, A. Yu. Lysikov, E. D. Radchenko, L. I. Knyazeva, A. N. Kirichenko, Russ. J. Phys. Chem., 98:12 (2024), 2865
A. F. Glova, I. D. Klochkov, A. Yu. Lysikov, L. I. Knyazeva, A. N. Kirichenko, V. A. Barsuk, Phys. Atom. Nuclei, 85:10 (2022), 1766
П. Б. Сергеев, А. Н. Кириченко, К. С. Кравчук, Н. В. Морозов, Р. А. Хмельницкий, Квантовая электроника, 50:12 (2020), 1173–1178; Quantum Electron., 50:12 (2020), 1173–1178
A F Glova, A Yu Lysikov, S S Nelyubin, I D Klochkov, L K Baldaev, Yu A Novinkin, M A Stogov, J. Phys.: Conf. Ser., 1696:1 (2020), 012021