Эксимерный KrF-лазер на основе буферного газа Не с энергией 0.8 Дж и КПД 2%

Экспериментально исследованы энергетические и временные характеристики накачки и излучения импульсного газоразрядного эксимерного KrF-лазера (λ = 248 нм) c использованием буферного газа He. На основе искрового разрядника РУ-65 разработана конструкция и оптимизированы параметры высоковольтной схемы возбуждения типа LC-инвертор с автоматической УФ предыонизацией. В газовой активной среде состава He:Kr:F₂ = 89.8:10:0.2 при полном давлении 2.5 атм впервые получен КПД лазера по запасенной энергии 2.4 % при энергии излучения 0.57 Дж. Максимальная энергия генерации KrF-лазера составила 0.82 Дж при длительности импульса на полувысоте 24 нс, удельной энергии 5.9 Дж/л и КПД 2.0 %.