Мощные высокоэффективные KrF-лампы с возбуждением скользящим и барьерным разрядами

Исследованы характеристики KrF-ламп с различными режимами возбуждения скользящего (СР) и барьерного (БР) разрядов при использовании в качестве материала диэлектрика сапфира. Определены условия, при которых достигается экстремально высокий выход флуоресценции KrF^* (внутренняя эффективность) η_in ≈ 30 и 22% для импульсных СР и БР соответственно. Показано, что однородная форма СР сохраняется без продува газа при частоте следования импульсов 5·10⁴ Гц. При квазинепрерывном возбуждении СР около атмосферного давления получена близкая к граничной по кинетике газовой среды плотность мощности флуоресценции KrF^* около 80 Вт/см³. Установлено, что при долговременном возбуждении ограничение интенсивности УФ излучения определяется допустимым нагревом газа до определенной температуры, свыше которой происходит резкое уменьшение времени жизни фторсодержащей газовой смеси. Это определяет преимущества применения СР, характеризующегося высокой теплопроводностью тонкого (~0.2 мм) слоя плазмы на поверхности охлаждаемого диэлектрика, при создании мощных высокоэффективных KrF- и ArF-ламп с интенсивностью УФ излучения до 1 Вт/см².