Лазерная обработка тонких пленок (обзор)

Проводится анализ технологических разработок и физических исследований в области лазерной обработки тонких пленок. Отмечается, что это направление является одним из самых перспективных в современной лазерной технологии. Особое внимание уделяется рассмотрению специфических особенностей воздействия лазерного излучения на тонкопленочные объекты и выявлению общих закономерностей их разрушения. На этой основе формируются критерии выбора лазера, оптической системы обработки, оптимальных характеристик светового потока.