Импульсный лазер на алюмо-иттриевом гранате с малой угловой расходимостью излучения и его использование для технологических применений

В статье рассмотрен лазер на АИГ с неодимом в режиме свободной генерации с частотой повторения импульсов 100 Гц. Замена резонатора с плоскими зеркалами на плосковыпуклый позволяет снизить расходимость до 8,5' по уровню средней мощности 90% при уменьшении КПД в 1,25 раза. Количественные оценки, сделанные на основе теоретического анализа, сопоставляются с экспериментальными данными. Подчеркивается, что предельно достижимая величина расходимости связана с двулучепреломлением в активном элементе ОКГ. Приводятся основные параметры технологического процесса использования ОКГ для разделения полупроводниковых пластин.