Аннотация:
Измерение скоростей лазерного травления различных материалов интенсивным (до 1014 Вт/см2) импульсным излучением продемонстрировало существенное снижение эффективности травления при формировании глубоких аблированных каналов. Измерены оптические характеристики образующегося плазменно-парового факела. На основании этих измерений и численных оценок предложены два возможных физических механизма дополнительной экранировки, вызванной взаимодействием со стенками канала: ограничение радиального разлета плазмы и увеличение ее плотности за счет испарения материала стенок переизлучением плазменной области.
Образец цитирования:
С. В. Гарнов, С. М. Климентов, В. И. Конов, Т. В. Кононенко, Ф. Даусингер, “Особенности плазменной экранировки при абляционном формировании глубоких каналов высокоинтенсивным лазерным излучением”, Квантовая электроника, 25:1 (1998), 45–48 [Quantum Electron., 28:1 (1998), 42–45]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe1134
https://www.mathnet.ru/rus/qe/v25/i1/p45
Эта публикация цитируется в следующих 13 статьяx:
S. B. Mikhailov, S. G. Gorny, A. N. Sharikov, Inorg. Mater. Appl. Res., 15:3 (2024), 606
Jiang L., Fang J., Cao Q., Zhang K., Wang P., Yu Ya., Huang Q., Lu Y., Appl. Optics, 53:31 (2014), 7290–7295
V. N. Tokarev, V. A. Shmakov, V. A. Yamschikov, R. R. Khasaya, S. I. Mikolutskiy, V. Yu. Khomich, International Congress on Applications of Lasers & Electro-Optics, 2010, 966
Y. Matsuoka, Y. Kizuka, T. Inoue, Appl. Phys. A, 84:4 (2006), 423