Методы оценки влияния отклонений конструктивных параметров на оптические свойства интерференционных покрытий

Предложены два метода для оценки влияния ошибок, возникающих в процессе изготовления интерференционных покрытий, на оптические свойства последних, соответствующие двум возможным типам ошибок – зависимым и независимым. Показано, что наиболее общим методом является математическое моделирование. Описана программа для ЭВМ, позволяющая оценить вероятность попадания оптических свойств многослойных покрытий в заранее заданный для них интервал, по известному значению чувствительности регистрирующего прибора. Рассмотрены примеры моделирования процесса изготовления некоторых покрытий, широко применяемых в квантовой электронике.