|
Квантовая электроника, 1978, том 5, номер 7, страницы 1582–1584
(Mi qe10475)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)
Краткие сообщения
Напыление пленок химических элементов с помощью лазера на неодимовом стекле
В. М. Бояков, В. М. Епихин, Б. А. Калин, М. К. Махатов, И. Н. Николаев, Г. Н. Шишкин Московский инженерно-физический институт
Аннотация:
Для напыления тонких пленок использовался лазер на неодимовом стекле, работающий в квазинепрерывном режиме. При интенсивностях излучения лазера q >1 МВт/см2 получены тонкие (~10 нм) однородные по толщине пленки большого числа элементов таблицы Менделеева. Пленки имели в основном поликристаллическую структуру.
Поступила в редакцию: 11.11.1977
Образец цитирования:
В. М. Бояков, В. М. Епихин, Б. А. Калин, М. К. Махатов, И. Н. Николаев, Г. Н. Шишкин, “Напыление пленок химических элементов с помощью лазера на неодимовом стекле”, Квантовая электроника, 5:7 (1978), 1582–1584 [Sov J Quantum Electron, 8:7 (1978), 902–904]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe10475 https://www.mathnet.ru/rus/qe/v5/i7/p1582
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 113 | PDF полного текста: | 66 |
|