Квантовая электроника
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов
Загрузить рукопись

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Квантовая электроника, 1978, том 5, номер 7, страницы 1582–1584 (Mi qe10475)  

Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)

Краткие сообщения

Напыление пленок химических элементов с помощью лазера на неодимовом стекле

В. М. Бояков, В. М. Епихин, Б. А. Калин, М. К. Махатов, И. Н. Николаев, Г. Н. Шишкин

Московский инженерно-физический институт
Аннотация: Для напыления тонких пленок использовался лазер на неодимовом стекле, работающий в квазинепрерывном режиме. При интенсивностях излучения лазера q >1 МВт/см2 получены тонкие (~10 нм) однородные по толщине пленки большого числа элементов таблицы Менделеева. Пленки имели в основном поликристаллическую структуру.
Поступила в редакцию: 11.11.1977
Англоязычная версия:
Soviet Journal of Quantum Electronics, 1978, Volume 8, Issue 7, Pages 902–904
DOI: https://doi.org/10.1070/QE1978v008n07ABEH010475
Тип публикации: Статья
УДК: 621.373.826.038.825.3
PACS: 68.55.+b, 81.15.Ef, 42.60.Kg


Образец цитирования: В. М. Бояков, В. М. Епихин, Б. А. Калин, М. К. Махатов, И. Н. Николаев, Г. Н. Шишкин, “Напыление пленок химических элементов с помощью лазера на неодимовом стекле”, Квантовая электроника, 5:7 (1978), 1582–1584 [Sov J Quantum Electron, 8:7 (1978), 902–904]
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/qe10475
  • https://www.mathnet.ru/rus/qe/v5/i7/p1582
  • Эта публикация цитируется в следующих 2 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Квантовая электроника Quantum Electronics
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:113
    PDF полного текста:66
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024