Электроразрядные эксимерные лазеры

Показано, что системы возбуждения азотных лазеров типа АИЛ могут применяться для получения генерации на молекулах XeF*, KrF*, XeCl*. Приводятся зависимости энергии излучения от состава и давления смеси и осциллограммы импульсов излучения. При объеме разрядной области 100×1,8×0,3 см на смеси Не : Хе : CCl₄ = 750 : 12 : 1 получена энергия излучения 21 мДж (λ ≈ 308 нм), а на смеси Не : Хе : NF₃ = 100 : 1 : 1 – 15 мДж (λ ≈ 350 нм). Показано, что в лазерах, работающих в импульсно-периодическом режиме, выгодно использовать галогеноноситель CHCl₃.