Влияние параметров возбуждения и активной среды на эффективность эксимерного электроразрядного ArF-лазера

Разработана кинетическая модель процессов, протекающих в плазме электроразрядного эксимерного ArF-лазера (λ = 193 нм) на смесях с буферными газами He и Ne. Проведены теоретическое и экспериментальное исследования влияния параметров возбуждения и активной среды на энергию генерации и полный КПД эксимерного электроразрядного ArF-лазера. Показано, что для достижения максимальной энергии генерации при максимальном КПД в ArF-лазере на смеси He–Ar–F₂ необходима удельная мощность накачки ~4.5–5.0 МВт/см³. Впервые для ArF-лазера на смесях с буферным газом гелием при удельной мощности накачки 5.0 МВт/см³ получена энергия в импульсе 1.3 Дж при КПД 2.0%.