Эксимерный ArF-лазер с энергией 0.5 Дж на основе буферного газа Не

Представлены результаты экспериментальных исследований энергетических и временных характеристик газоразрядного эксимерного ArF-лазера (λ = 193 нм) в газовых смесях на основе буферного газа He. На основе искрового разрядника РУ-65 разработана конструкция и оптимизированы параметры высоковольтной схемы возбуждения типа LC-инвертор с автоматической УФ предыонизацией. В газовой активной среде составa He:Ar:F₂ = 79.7:20:0.3 при полном давлении 2.5 атм впервые получен КПД по запасенной энергии 1.5% при энергии излучения 360 мДж. Максимальная энергия генерации ArF-лазера 550 мДж была достигнута с КПД 1.36% при длительности импульса на полувысоте 12 нс.