|
Квантовая электроника, 1980, том 7, номер 12, страницы 2631–2634
(Mi qe10251)
|
|
|
|
Краткие сообщения
Влияние переходных слоев на дисперсионные характеристики пленочных оптических волноводов, полученных методом реактивного катодного распыления
В. И. Аникин, А. П. Горобец, С. С. Олевский, А. Н. Половинкин Университет дружбы народов им. Патриса Лумумбы, Москва
Аннотация:
Показано существование переходного слоя между пленкой и подложкой в планарных оптических волноводах, полученных методом реактивного катодного распыления. Определены глубина и вид профиля слоя. Спектр эффективных показателей преломления, измеренный экспериментально, не совпадает со спектром, предсказываемым теорией тонкопленочных волноводов. Выведены дисперсионные уравнения, учитывающие наличие переходного слоя и дающие спектр эффективных показателей преломления, совпадающий с экспериментальным.
Поступила в редакцию: 12.05.1980
Образец цитирования:
В. И. Аникин, А. П. Горобец, С. С. Олевский, А. Н. Половинкин, “Влияние переходных слоев на дисперсионные характеристики пленочных оптических волноводов, полученных методом реактивного катодного распыления”, Квантовая электроника, 7:12 (1980), 2631–2634 [Sov J Quantum Electron, 10:12 (1980), 1537–1539]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe10251 https://www.mathnet.ru/rus/qe/v7/i12/p2631
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 115 | PDF полного текста: | 77 |
|