|
Квантовая электроника, 1980, том 7, номер 5, страницы 1132–1133
(Mi qe10239)
|
|
|
|
Краткие сообщения
Получение тонкопленочных волноводов на основе халькогенидных стеклообразных полупроводников методом лазерного напыления
Ю. А. Быковский, В. С. Герасименко, А. В. Миронос, В. Л. Смирнов, В. В. Химинец Московский инженерно-физический институт
Аннотация:
Экспериментально исследованы волноводные структуры на основе халькогенидных
стеклообразных полупроводников, полученные методом лазерного напыления. Изучена
зависимость коэффициента затухания от режимов напыления. Выделена область
составов системы $As-Se$, имеющая практическое значение для изготовления высококачественных ТПВ. Показаны пути дальнейшего улучшения характеристик ТПВ.
Поступила в редакцию: 11.11.1979
Образец цитирования:
Ю. А. Быковский, В. С. Герасименко, А. В. Миронос, В. Л. Смирнов, В. В. Химинец, “Получение тонкопленочных волноводов на основе халькогенидных стеклообразных полупроводников методом лазерного напыления”, Квантовая электроника, 7:5 (1980), 1132–1133 [Sov J Quantum Electron, 10:5 (1980), 652–653]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe10239 https://www.mathnet.ru/rus/qe/v7/i5/p1132
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 163 | PDF полного текста: | 74 |
|