|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Тестирование электродов из хромоникелевого сплава в тройном ленгмюровском зонде, предназначенном для диагностики плазмы
М. Я. Назab, С. Шухруллаab, A. Джафарb, Н. У. Рехманcd, Я. Ханe a Технологический университет PETRONAS, 31750 Бандар Сери Искандар, Малайзия
b Сельскохозяйственный университет, 38040 Файзалабад, Пакистан
c Университет короля Сауда, 11451 Рияд, Саудовская Аравия
d Институт информационных технологий COMSATS, Исламабад, Пакистан
e Инженерный колледж Университета короля Сауда, 11451 Рияд, Саудовская Аравия
Аннотация:
Исследована возможность использования хромоникелевого сплава в качестве материала зондов для диагностики плазмы газовых разрядов. Разработан симметричный тройной ленгмюровский зонд с управляющей схемой, проведено его испытание в индуктивно связанной плазме, которая создавалась радиочастотным генератором (13,56 МГц), включенным в систему автоматического согласования импеданса. C помощью такого зонда получены зависимости электронной температуры, плотности электронов и силы тока ионного насыщения от мощности радиочастотного генератора и давления газа в разрядной камере. Обнаружено, что при увеличении входной радиочастотной мощности температура и плотность электронов увеличиваются, а с увеличением давления азота в камере – уменьшаются. Суммарная погрешность измерений электронной температуры составила 5–12%, плотности электронов – 3–13%.
Ключевые слова:
многоэлектродные зонды, плотность электронов, электронная температура, радиочастотная плазма.
Поступила в редакцию: 18.11.2013 Исправленный вариант: 31.01.2014
Образец цитирования:
М. Я. Наз, С. Шухрулла, A. Джафар, Н. У. Рехман, Я. Хан, “Тестирование электродов из хромоникелевого сплава в тройном ленгмюровском зонде, предназначенном для диагностики плазмы”, Прикл. мех. техн. физ., 57:2 (2016), 23–31; J. Appl. Mech. Tech. Phys., 57:2 (2016), 211–218
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pmtf852 https://www.mathnet.ru/rus/pmtf/v57/i2/p23
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 36 | PDF полного текста: | 13 |
|