Прикладная механика и техническая физика
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Прикл. мех. техн. физ.:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Прикладная механика и техническая физика, 2016, том 57, выпуск 4, страницы 74–83
DOI: https://doi.org/10.15372/PMTF20160407 (Mi pmtf815) 		 
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)

Задача конвективной диффузии из газовой фазы к вращающемуся диску

Е. Л. Панкратов, П. Б. Болдыревский

Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского, 603950 Нижний Новгород, Россия
PDF полного текста (235 kB) Список цитирования (2)
DOI: https://doi.org/10.15372/PMTF20160407
Аннотация: Предложена методика аналитического расчета скорости потока газовой смеси и концентрации ростового компонента в процессе эпитаксии из газовой фазы, происходящей в реакционной камере с вращающимся диском-подложкодержателем. Проведен анализ зависимости концентрации ростового компонента от ряда технологических параметров процесса эпитаксии.
Ключевые слова: эпитаксия из газовой фазы, конвективная диффузия, диск-подложкодержатель.
Поступила в редакцию: 31.03.2014
Исправленный вариант: 28.05.2015
Англоязычная версия:
Journal of Applied Mechanics and Technical Physics, 2016, Volume 57, Issue 4, Pages 637–645
DOI: https://doi.org/10.1134/S0021894416040076
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
УДК: 533.7: 533.22
Образец цитирования: Е. Л. Панкратов, П. Б. Болдыревский, “Задача конвективной диффузии из газовой фазы к вращающемуся диску”, Прикл. мех. техн. физ., 57:4 (2016), 74–83; J. Appl. Mech. Tech. Phys., 57:4 (2016), 637–645
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{PanBol16}
\by Е.~Л.~Панкратов, П.~Б.~Болдыревский
\paper Задача конвективной диффузии из газовой фазы к вращающемуся диску
\jour Прикл. мех. техн. физ.
\yr 2016
\vol 57
\issue 4
\pages 74--83
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pmtf815}
\crossref{https://doi.org/10.15372/PMTF20160407}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=26493341}
\transl
\jour J. Appl. Mech. Tech. Phys.
\yr 2016
\vol 57
\issue 4
\pages 637--645
\crossref{https://doi.org/10.1134/S0021894416040076}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pmtf815
  • https://www.mathnet.ru/rus/pmtf/v57/i4/p74
    • Эта публикация цитируется в следующих 2 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Прикладная механика и техническая физика Прикладная механика и техническая физика
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024