|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Температурное поле в монокристаллическом кремнии, облучаемом лазером c миллисекундной длительностью импульса
Г. Минa, Т. Юнa, Г. Сюньa, Ю. Бошиa, Ц. Гуанюнb a Школа наук Чанчуньского университета наук и технологий, 130022 Чанчунь, Китай
b Колледж оптики и электроники Чанчуньского университета наук и технологий, 130022 Чанчунь, Китай
Аннотация:
С использованием уравнения теплопроводности, учитывающего фазовые переходы и зависимость термофизических параметров от температуры, изучены температурное поле и фазовые переходы в монокристаллическом кремнии при его нагреве лазерным лучом.
С помощью метода конечных элементов и метода конечных разностей выполнено численное моделирование температурного поля и фазовых переходов при различных значениях параметров миллисекундного лазера с излучением в форме гауссова пучка и различных значениях длительности импульса. Проведено сравнение результатов численных расчетов и экспериментальных данных.
Ключевые слова:
лазер с миллисекундной длительностью импульса, импульс, монокристаллический кремний, температурное поле, метод конечных элементов.
Поступила в редакцию: 07.04.2016 Исправленный вариант: 31.08.2016
Образец цитирования:
Г. Мин, Т. Юн, Г. Сюнь, Ю. Боши, Ц. Гуанюн, “Температурное поле в монокристаллическом кремнии, облучаемом лазером c миллисекундной длительностью импульса”, Прикл. мех. техн. физ., 58:4 (2017), 142–152; J. Appl. Mech. Tech. Phys., 58:4 (2017), 693–701
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pmtf689 https://www.mathnet.ru/rus/pmtf/v58/i4/p142
|
|