|
Образование плазмы при воздействии на монокристаллический кремний миллисекундного лазера
М. Гоab, Г. Цзиньc, С. Гаоc a Междисциплинарный технологический институт квантовой информатики Гилинского технического университета, 130052 Чанчунь, Китай
b Гилинская лаборатория квантовой информатики, Чанчунь, Китай
c Школа наук Чанчуньского университета наук и технологий, 130022 Чанчунь, Китай
Аннотация:
Исследована абляция монокристаллического кремния в окружающую среду при воздействии на него миллисекундного оптического лазера марки Nd:YAG с длиной волны излучения, равной 1064 нм. С использованием теневого метода изучен процесс расширения плазмы при плотности энергии лазера 955,4 $\div$ 2736,0 Дж/см$^2$. Показано, что внешняя граница плазменного факела с течением времени диффундирует в окружающую среду, расширение плазмы происходит как в осевом, так и в радиальном направлении, при этом скорость расширения плазмы в радиальном направлении меньше, чем в осевом. Две центральные линии действия лазера симметричны. Установлено, что максимальная скорость расширения плазмы, равная 162,1 м/с, достигается при плотности энергии лазера, равной 2376,0 Дж/см$^2$, при этом образуется волна горения. Показано, что в отличие от случая воздействия на монокристаллический кремний короткоимпульсного лазера, при воздействии миллисекундного лазера существует два интервала времени, на которых скорость расширения плазмы увеличивается. При воздействии лазера с большой плотностью энергии происходит вспышка материала.
Ключевые слова:
миллисекундный лазер, монокристаллический кремний, плазма, теневая фотография.
Поступила в редакцию: 14.11.2016 Исправленный вариант: 15.03.2018
Образец цитирования:
М. Го, Г. Цзинь, С. Гао, “Образование плазмы при воздействии на монокристаллический кремний миллисекундного лазера”, Прикл. мех. техн. физ., 59:5 (2018), 203–212; J. Appl. Mech. Tech. Phys., 59:5 (2018), 943–950
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pmtf541 https://www.mathnet.ru/rus/pmtf/v59/i5/p203
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 22 | PDF полного текста: | 1 |
|