Прикладная механика и техническая физика
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Прикл. мех. техн. физ.:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Прикладная механика и техническая физика, 2018, том 59, выпуск 5, страницы 115–122
DOI: https://doi.org/10.15372/PMTF20180514 (Mi pmtf531) 		 
Измерение температуры и концентрации вторичных электронов в электронно-пучковой плазме аргона

В. О. Константинов, В. Г. Щукин, Р. Г. Шарафутдинов

Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН, 630090 Новосибирск, Россия
PDF полного текста (331 kB)
DOI: https://doi.org/10.15372/PMTF20180514
Аннотация: Представлены результаты измерений температуры и концентрации вторичных электронов в свободной струе аргона, активированной в электронно-пучковой плазме, которые проводились с помощью двойного электростатического зонда Ленгмюра. На прототипе холодного плазмотрона при энергии первичного пучка 1 кэВ получена струя плотной холодной плазмы с поперечным размером, приблизительно равным 80 мм, и параметрами, при которых возможно осаждение слоев кремния с необходимыми характеристиками в форвакуумном диапазоне давлений.
Ключевые слова: зондовая диагностика, электронно-пучковая плазма, электронная пушка с полым катодом.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский фонд фундаментальных исследований 17-48-540665 р а
Работа выполнена при финансовой поддержке Российского фонда фундаментальных исследований и Министерства образования, науки и инновационной политики Новосибирской области (код проекта 17-48-540665 р а).
Поступила в редакцию: 20.12.2017
Исправленный вариант: 22.03.2018
Англоязычная версия:
Journal of Applied Mechanics and Technical Physics, 2018, Volume 59, Issue 5, Pages 867–873
DOI: https://doi.org/10.1134/S0021894418050140
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
УДК: 533.9.082.76
Образец цитирования: В. О. Константинов, В. Г. Щукин, Р. Г. Шарафутдинов, “Измерение температуры и концентрации вторичных электронов в электронно-пучковой плазме аргона”, Прикл. мех. техн. физ., 59:5 (2018), 115–122; J. Appl. Mech. Tech. Phys., 59:5 (2018), 867–873
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KonShcSha18}
\by В.~О.~Константинов, В.~Г.~Щукин, Р.~Г.~Шарафутдинов
\paper Измерение температуры и концентрации вторичных электронов в электронно-пучковой плазме аргона
\jour Прикл. мех. техн. физ.
\yr 2018
\vol 59
\issue 5
\pages 115--122
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pmtf531}
\crossref{https://doi.org/10.15372/PMTF20180514}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=35606608}
\transl
\jour J. Appl. Mech. Tech. Phys.
\yr 2018
\vol 59
\issue 5
\pages 867--873
\crossref{https://doi.org/10.1134/S0021894418050140}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pmtf531
  • https://www.mathnet.ru/rus/pmtf/v59/i5/p115
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Прикладная механика и техническая физика Прикладная механика и техническая физика
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:30
    PDF полного текста:11
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024