|
Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)
Влияние расхода газа-предшественника на скорость роста фторполимерного покрытия при осаждении методом HWCVD
А. И. Сафоновa, В. С. Суляеваb, А. Л. Богословцеваa, Н. И. Тимошенкоa a Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН,
630090 Новосибирск, Россия
b Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН, 630090 Новосибирск, Россия
Аннотация:
Экспериментально исследован процесс формирования фторполимерного покрытия методом химического осаждения. Обнаружено, что с увеличением расхода газа-предшественника происходит существенное уменьшение скорости роста покрытия. Выполнен анализ условий осаждения, проведена оценка газодинамических параметров процесса. Показано, что результаты оценок согласуются с экспериментальными данными.
Ключевые слова:
фторполимер, тонкие пленки, метод HWCVD, газодинамический режим течения, катализатор.
Поступила в редакцию: 28.06.2018
Образец цитирования:
А. И. Сафонов, В. С. Суляева, А. Л. Богословцева, Н. И. Тимошенко, “Влияние расхода газа-предшественника на скорость роста фторполимерного покрытия при осаждении методом HWCVD”, Прикл. мех. техн. физ., 59:5 (2018), 87–92; J. Appl. Mech. Tech. Phys., 59:5 (2019), 842–846
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pmtf527 https://www.mathnet.ru/rus/pmtf/v59/i5/p87
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 21 | PDF полного текста: | 4 |
|