Прикладная механика и техническая физика
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Прикл. мех. техн. физ.:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Прикладная механика и техническая физика, 2018, том 59, выпуск 5, страницы 87–92
DOI: https://doi.org/10.15372/PMTF20180510 (Mi pmtf527) 		 
Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)

Влияние расхода газа-предшественника на скорость роста фторполимерного покрытия при осаждении методом HWCVD

А. И. Сафоновa, В. С. Суляеваb, А. Л. Богословцеваa, Н. И. Тимошенкоa

a Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН, 630090 Новосибирск, Россия
b Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН, 630090 Новосибирск, Россия
PDF полного текста (283 kB) Список цитирования (3)
DOI: https://doi.org/10.15372/PMTF20180510
Аннотация: Экспериментально исследован процесс формирования фторполимерного покрытия методом химического осаждения. Обнаружено, что с увеличением расхода газа-предшественника происходит существенное уменьшение скорости роста покрытия. Выполнен анализ условий осаждения, проведена оценка газодинамических параметров процесса. Показано, что результаты оценок согласуются с экспериментальными данными.
Ключевые слова: фторполимер, тонкие пленки, метод HWCVD, газодинамический режим течения, катализатор.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский научный фонд 16-19-10675
Работа выполнена при финансовой поддержке Российского научного фонда (код проекта 16-19-10675).
Поступила в редакцию: 28.06.2018
Англоязычная версия:
Journal of Applied Mechanics and Technical Physics, 2019, Volume 59, Issue 5, Pages 842–846
DOI: https://doi.org/10.1134/S0021894418050103
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
УДК: 533.17: 541.64
Образец цитирования: А. И. Сафонов, В. С. Суляева, А. Л. Богословцева, Н. И. Тимошенко, “Влияние расхода газа-предшественника на скорость роста фторполимерного покрытия при осаждении методом HWCVD”, Прикл. мех. техн. физ., 59:5 (2018), 87–92; J. Appl. Mech. Tech. Phys., 59:5 (2019), 842–846
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{SafSulBog18}
\by А.~И.~Сафонов, В.~С.~Суляева, А.~Л.~Богословцева, Н.~И.~Тимошенко
\paper Влияние расхода газа-предшественника на скорость роста фторполимерного покрытия при осаждении методом HWCVD
\jour Прикл. мех. техн. физ.
\yr 2018
\vol 59
\issue 5
\pages 87--92
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pmtf527}
\crossref{https://doi.org/10.15372/PMTF20180510}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=35606604}
\transl
\jour J. Appl. Mech. Tech. Phys.
\yr 2019
\vol 59
\issue 5
\pages 842--846
\crossref{https://doi.org/10.1134/S0021894418050103}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pmtf527
  • https://www.mathnet.ru/rus/pmtf/v59/i5/p87
    • Эта публикация цитируется в следующих 3 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Прикладная механика и техническая физика Прикладная механика и техническая физика
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:21
    PDF полного текста:4
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024