Прикладная механика и техническая физика
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Прикл. мех. техн. физ.:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Прикладная механика и техническая физика, 2018, том 59, выпуск 5, страницы 22–30
DOI: https://doi.org/10.15372/PMTF20180503 (Mi pmtf520) 		 
Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)

Осаждение пленок кремния с использованием газоструйного плазмохимического метода: эксперимент и газодинамическое моделирование

Р. Г. Шарафутдинов, П. А. Сковородко, В. Г. Щукин, В. О. Константинов

Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН, 630090 Новосибирск, Россия
PDF полного текста (540 kB) Список цитирования (3)
DOI: https://doi.org/10.15372/PMTF20180503
Аннотация: Представлены результаты экспериментального исследования, численного моделирования и анализа в рамках газодинамической модели процесса осаждения пленок кремния с использованием газоструйного плазмохимического метода. Разработана численная модель истекающих из кольцевого соплового блока и входящих в реактор потоков газовых смесей, которая позволяет определить распределение толщин пленок по поверхности подложек, размещенных в реакторе, и удовлетворительно описывает полученные экспериментальные данные.
Ключевые слова: свободная струя, реактор, моделирование, метод DSMC, тонкие пленки кремния, электронно-пучковая плазма, плазмохимическое осаждение.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российская академия наук - Федеральное агентство научных организаций 01201350443
Работа выполнена при финансовой поддержке Федерального агентства научных организаций РФ в рамках проекта “Фундаментальные теплофизические проблемы при росте кристаллов и пленок” (номер государственной регистрации 01201350443).
Поступила в редакцию: 04.06.2018
Англоязычная версия:
Journal of Applied Mechanics and Technical Physics, 2018, Volume 59, Issue 5, Pages 786–793
DOI: https://doi.org/10.1134/S0021894418050036
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
УДК: 533.17+533.9.03+539.231
Образец цитирования: Р. Г. Шарафутдинов, П. А. Сковородко, В. Г. Щукин, В. О. Константинов, “Осаждение пленок кремния с использованием газоструйного плазмохимического метода: эксперимент и газодинамическое моделирование”, Прикл. мех. техн. физ., 59:5 (2018), 22–30; J. Appl. Mech. Tech. Phys., 59:5 (2018), 786–793
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{ShaSkoShc18}
\by Р.~Г.~Шарафутдинов, П.~А.~Сковородко, В.~Г.~Щукин, В.~О.~Константинов
\paper Осаждение пленок кремния с использованием газоструйного плазмохимического метода: эксперимент и газодинамическое моделирование
\jour Прикл. мех. техн. физ.
\yr 2018
\vol 59
\issue 5
\pages 22--30
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pmtf520}
\crossref{https://doi.org/10.15372/PMTF20180503}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=35606597}
\transl
\jour J. Appl. Mech. Tech. Phys.
\yr 2018
\vol 59
\issue 5
\pages 786--793
\crossref{https://doi.org/10.1134/S0021894418050036}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pmtf520
  • https://www.mathnet.ru/rus/pmtf/v59/i5/p22
    • Эта публикация цитируется в следующих 3 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Прикладная механика и техническая физика Прикладная механика и техническая физика
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025