Аннотация:
Впервые реализован новый способ осаждения алмазных пленок с использованием сверхзвуковых потоков газов, активированных сверхвысокочастотным разрядом. Принцип работы предложенного газоразрядного устройства аналогичен принципу работы микроволнового электротермического ракетного движителя. В качестве плазмообразующего газа используется смесь углеводородов и водорода. Показано, что предлагаемый способ позволяет использовать плазмообразующий газ при давлениях, существенно превышающих верхний предел рабочих давлений современных газоразрядных устройств осаждения пленок в плазме сверхвысокочастотного разряда (приблизительно 40000 Па).
Образец цитирования:
А. К. Ребров, М. В. Исупов, А. Ю. Литвинцев, В. Ф. Буров, “Синтез алмазов из микроволновой плазмы с использованием сверхзвуковых потоков газа”, Прикл. мех. техн. физ., 59:5 (2018), 5–12; J. Appl. Mech. Tech. Phys., 59:5 (2018), 771–777
\RBibitem{RebIsuLit18}
\by А.~К.~Ребров, М.~В.~Исупов, А.~Ю.~Литвинцев, В.~Ф.~Буров
\paper Синтез алмазов из микроволновой плазмы с использованием сверхзвуковых потоков газа
\jour Прикл. мех. техн. физ.
\yr 2018
\vol 59
\issue 5
\pages 5--12
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pmtf518}
\crossref{https://doi.org/10.15372/PMTF20180501}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=35606595}
\transl
\jour J. Appl. Mech. Tech. Phys.
\yr 2018
\vol 59
\issue 5
\pages 771--777
\crossref{https://doi.org/10.1134/S0021894418050012}
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pmtf518
https://www.mathnet.ru/rus/pmtf/v59/i5/p5
Эта публикация цитируется в следующих 13 статьяx:
Aleksey Alekseevich Emelyanov, M. Yu. Plotnikov, Nikolay I. Timoshenko, Ivan B. Yudin, “GAS-JET MPCVD SYNTHESIS OF DIAMOND COATINGS AT DIFFERENT PRESSURES IN THE DEPOSITION CHAMBER”, Interfac Phenom Heat Transfer, 13:1 (2025), 45
B. M. Brzhozovskii, M. B. Brovkova, S. G. Gestrin, E. P. Zinina, V. V. Martynov, “An Investigation of the Diode Properties of a Double Layer of a Combined Gas Discharge”, Tech. Phys., 69:7 (2024), 1921
А. А. Емельянов, М. Ю. Плотников, Н. И. Тимошенко, И. Б. Юдин, “Газоструйный синтез из активированной в СВЧ-разряде смеси H2 + CH4 + Ar алмазных покрытий на кремниевых подложках”, Прикл. мех. техн. физ., 64:5 (2023), 17–26; A. A. Emel'yanov, M. Yu. Plotnikov, N. I. Timoshenko, I. B. Yudin, “Gas-jet synthesis of diamond coatings on silicon substrates from an H2 + CH4 + Ar mixture activated in a microwave discharge”, J. Appl. Mech. Tech. Phys., 64:5 (2024), 748–756
А. А. Емельянов, В. А. Пинаев, М. Ю. Плотников, А. К. Ребров, Н. И. Тимошенко, И. Б. Юдин, “Оптические и газодинамические измерения в потоке плазмы СВЧ-разряда в условиях газоструйного синтеза алмаза”, Прикл. мех. техн. физ., 63:3 (2022), 54–61; A. A. Emel'yanov, V. A. Pinaev, M. Yu. Plotnikov, A. K. Rebrov, N. I. Timoshenko, I. B. Yudin, “Optical and gas-dynamic measurements in a microwave discharge plasma flow under conditions of gas-jet synthesis of diamond”, J. Appl. Mech. Tech. Phys., 63:3 (2022), 418–424
A A Emelyanov, V A Pinaev, M Yu Plotnikov, A K Rebrov, N I Timoshenko, I B Yudin, “Effect of methane flow rate on gas-jet MPCVD diamond synthesis”, J. Phys. D: Appl. Phys., 55:20 (2022), 205202
M Y Hrebtov, M S Bobrov, “Numerical investigation of energy transfer efficiency from microwave radiation to plasma in a cylindrical resonant cavity”, J. Phys.: Conf. Ser., 2119:1 (2021), 012123
Yu. V. Fedoseeva, D. V. Gorodetskiy, A. A. Makarova, I. B. Yudin, N. I. Timoshenko, M. Yu. Plotnikov, A. A. Emelyanov, A. K. Rebrov, A. V. Okotrub, “INFLUENCE OF THE TEMPERATURE OF MOLYBDENUM SUBSTRATES ON THE STRUCTURE OF DIAMOND COATINGS OBTAINED BY CHEMICAL VAPOR DEPOSITION FROM A HIGH-SPEED MICROWAVE PLASMA JET”, J Struct Chem, 62:1 (2021), 153
A A Emelyanov, M Yu Plotnikov, N I Timoshenko, I B Yudin, “Effective cooling of substrates with low thermal conductivity under conditions of gas-jet MPCVD diamond synthesis”, J. Phys.: Conf. Ser., 2119:1 (2021), 012119
A. A. Emel'yanov, M. Yu. Plotnikov, A. K. Rebrov, N. I. Timoshenko, I. B. Yudin, “The Use of a Supersonic Jet of Gas Activated in a Microwave Discharge in Diamond Deposition”, Fluid Dyn, 56:1 (2021), 106
M Yu Hrebtov, M S Bobrov, “Numerical optimization of plasma generation in a microwave resonant cavity”, J. Phys.: Conf. Ser., 1677:1 (2020), 012133
А. К. Ребров, А. А. Емельянов, М. Ю. Плотников, Н. И. Тимошенко, В. В. Терехов, И. Б. Юдин, “Влияние расхода смеси газов на процесс синтеза алмаза из высокоскоростного потока сверхвысокочастотной плазмы”, Прикл. мех. техн. физ., 61:5 (2020), 158–167; A. K. Rebrov, A. A. Emel'yanov, M. Yu. Plotnikov, N. I. Timoshenko, V. V. Terekhov, I. B. Yudin, “Effect of the gas mixture flow rate on the process of diamond synthesis from a high-velocity microwave plasma”, J. Appl. Mech. Tech. Phys., 61:5 (2020), 819–827
M Yu Hrebtov, M S Bobrov, “Numerical optimization of hydrogen microwave plasma reactor for diamond film deposition”, J. Phys.: Conf. Ser., 1382:1 (2019), 012010
A K Rebrov, N I Timoshenko, A A Emelyanov, I B Yudin, “Influence of the substrate temperature on the jet diamond depositon”, J. Phys.: Conf. Ser., 1359:1 (2019), 012109
Цитирование в формате AMSBIB
Обратная связь: