Прикладная механика и техническая физика
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Прикл. мех. техн. физ.:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Прикладная механика и техническая физика, 2018, том 59, выпуск 5, страницы 5–12
DOI: https://doi.org/10.15372/PMTF20180501 (Mi pmtf518) 		 
Эта публикация цитируется в 12 научных статьях (всего в 12 статьях)

Синтез алмазов из микроволновой плазмы с использованием сверхзвуковых потоков газа

А. К. Ребровa, М. В. Исуповa, А. Ю. Литвинцевa, В. Ф. Буровb

a Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН, 630090 Новосибирск, Россия
b ООО "ЗиО-КОТЭС", г. Новосибирск
PDF полного текста (460 kB) Список цитирования (12)
DOI: https://doi.org/10.15372/PMTF20180501
Аннотация: Впервые реализован новый способ осаждения алмазных пленок с использованием сверхзвуковых потоков газов, активированных сверхвысокочастотным разрядом. Принцип работы предложенного газоразрядного устройства аналогичен принципу работы микроволнового электротермического ракетного движителя. В качестве плазмообразующего газа используется смесь углеводородов и водорода. Показано, что предлагаемый способ позволяет использовать плазмообразующий газ при давлениях, существенно превышающих верхний предел рабочих давлений современных газоразрядных устройств осаждения пленок в плазме сверхвысокочастотного разряда (приблизительно 40000 Па).
Ключевые слова: синтез алмазов, микроволновая плазма, резонансная камера, сопло, смесь водорода и метана, высокоскоростной поток, вакуум.
Финансовая поддержка Номер гранта
Сибирское отделение Российской академии наук 47
Работа выполнена в рамках междисциплинарного интеграционного гранта СО РАН № 47.
Поступила в редакцию: 03.07.2018
Англоязычная версия:
Journal of Applied Mechanics and Technical Physics, 2018, Volume 59, Issue 5, Pages 771–777
DOI: https://doi.org/10.1134/S0021894418050012
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
УДК: 533.9.07
Образец цитирования: А. К. Ребров, М. В. Исупов, А. Ю. Литвинцев, В. Ф. Буров, “Синтез алмазов из микроволновой плазмы с использованием сверхзвуковых потоков газа”, Прикл. мех. техн. физ., 59:5 (2018), 5–12; J. Appl. Mech. Tech. Phys., 59:5 (2018), 771–777
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{RebIsuLit18}
\by А.~К.~Ребров, М.~В.~Исупов, А.~Ю.~Литвинцев, В.~Ф.~Буров
\paper Синтез алмазов из микроволновой плазмы с использованием сверхзвуковых потоков газа
\jour Прикл. мех. техн. физ.
\yr 2018
\vol 59
\issue 5
\pages 5--12
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pmtf518}
\crossref{https://doi.org/10.15372/PMTF20180501}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=35606595}
\transl
\jour J. Appl. Mech. Tech. Phys.
\yr 2018
\vol 59
\issue 5
\pages 771--777
\crossref{https://doi.org/10.1134/S0021894418050012}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pmtf518
  • https://www.mathnet.ru/rus/pmtf/v59/i5/p5
    • Эта публикация цитируется в следующих 12 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Прикладная механика и техническая физика Прикладная механика и техническая физика
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:29
    PDF полного текста:13
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024