|
Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)
Оптические и газодинамические измерения в потоке плазмы СВЧ-разряда в условиях газоструйного синтеза алмаза
А. А. Емельянов, В. А. Пинаев, М. Ю. Плотников, А. К. Ребров, Н. И. Тимошенко, И. Б. Юдин Институт теплофизики им. С. С. Кутателадзе СО РАН, 630090 Новосибирск, Россия
Аннотация:
Представлены результаты оптического и газодинамического исследования плазмы СВЧ-разряда в условиях газоструйного синтеза алмаза и проведен их анализ с целью определения температуры и состава смеси в разрядной камере для дальнейшей оптимизации метода. Исследовано влияние расхода подаваемой газовой смеси на макропараметры потока смеси газа на выходе из разрядной камеры. Измеренные в разрядной камере значения давления и температуры использованы для численного анализа состава смеси в зависимости от расхода подаваемого газа. Показано, что состав смеси на выходе из разрядной камеры коррелирует со скоростью синтеза алмазных структур.
Ключевые слова:
газоструйный синтез алмаза, микроволновая плазма, оптическая эмиссионная спектроскопия, газодинамические измерения.
Поступила в редакцию: 01.06.2021 Исправленный вариант: 14.07.2021 Принята в печать: 26.07.2021
Образец цитирования:
А. А. Емельянов, В. А. Пинаев, М. Ю. Плотников, А. К. Ребров, Н. И. Тимошенко, И. Б. Юдин, “Оптические и газодинамические измерения в потоке плазмы СВЧ-разряда в условиях газоструйного синтеза алмаза”, Прикл. мех. техн. физ., 63:3 (2022), 54–61; J. Appl. Mech. Tech. Phys., 63:3 (2022), 418–424
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pmtf51 https://www.mathnet.ru/rus/pmtf/v63/i3/p54
|
|