|
Прикладная механика и техническая физика, 1988, том 29, выпуск 5, страницы 13–15
(Mi pmtf4838)
|
|
|
|
Возбуждение индукционного ВЧ-разряда
Е. Т. Протасевич г. Томск
Аннотация:
Приведены описание обмотки возбуждения ВЧE-разряда и параметры плазмы, найденные при $f$ = 36–37 МГц, $P$ = 40–60 кВт, $\tau$ = 10–60 мс, $F$ = 1–5 Гц.
Поступила в редакцию: 16.06.1987
Образец цитирования:
Е. Т. Протасевич, “Возбуждение индукционного ВЧ-разряда”, Прикл. мех. техн. физ., 29:5 (1988), 13–15; J. Appl. Mech. Tech. Phys., 29:5 (1988), 612–613
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pmtf4838 https://www.mathnet.ru/rus/pmtf/v29/i5/p13
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 24 | PDF полного текста: | 4 |
|