|
Прикладная механика и техническая физика, 1988, том 29, выпуск 2, страницы 3–7
(Mi pmtf4751)
|
|
|
|
Расчет характеристик безэлектродного ВЧ-разряда
А. Е. Булышев, Н. В. Денисова, Н. Г. Преображенский, А. Е. Суворов г. Новосибирск
Аннотация:
Предложена математическая модель плазмы безэлектродного ВЧ-разряда в приближении максвелловского распределения электронов по энергиям и пренебрежении объемной рекомбинацией. На ее основании сделаны оценки для мощности разряда и характерного значения электронной плотности как функции внешнего поля. Проведенный для аргоновой плазмы расчет позволил получить количественные данные по распределению электронной концентрации, температуры и электромагнитного поля в пространстве.
Поступила в редакцию: 05.01.1987
Образец цитирования:
А. Е. Булышев, Н. В. Денисова, Н. Г. Преображенский, А. Е. Суворов, “Расчет характеристик безэлектродного ВЧ-разряда”, Прикл. мех. техн. физ., 29:2 (1988), 3–7; J. Appl. Mech. Tech. Phys., 29:2 (1988), 159–163
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pmtf4751 https://www.mathnet.ru/rus/pmtf/v29/i2/p3
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 12 | PDF полного текста: | 2 |
|