Прикладная механика и техническая физика
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Прикл. мех. техн. физ.:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Прикладная механика и техническая физика, 2020, том 61, выпуск 5, страницы 158–167
DOI: https://doi.org/10.15372/PMTF20200517 (Mi pmtf280) 		 
Эта публикация цитируется в 7 научных статьях (всего в 7 статьях)

Влияние расхода смеси газов на процесс синтеза алмаза из высокоскоростного потока сверхвысокочастотной плазмы

А. К. Ребров, А. А. Емельянов, М. Ю. Плотников, Н. И. Тимошенко, В. В. Терехов, И. Б. Юдин

Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН, 630090 Новосибирск, Россия
PDF полного текста (1897 kB) Список цитирования (7)
DOI: https://doi.org/10.15372/PMTF20200517
Аннотация: Развит метод газофазного осаждения алмазных структур с использованием высокоскоростной струи для переноса активированных в сверхвысокочастотной плазме газов к подложке. Алмаз синтезировался из смеси водорода с метаном, концентрация которого составляла 1%. Исследовано влияние расхода газовой смеси на синтез алмазных структур при неизменных составе подаваемой смеси, давлении в камере осаждения и температуре подложки. Установлено, что увеличение расхода приводит к увеличению плотности поликристаллической пленки и размера кристаллов алмазов, формирующих пленку. Проведен численный анализ состава смеси на выходе из разрядной камеры в зависимости от расхода смеси. Показана корреляция состава смеси со скоростью роста и качеством алмазных структур.
Ключевые слова: синтез алмаза, микроволновая плазма, сопло, смесь водорода и метана, высокоскоростной поток.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации АААА-А17-117030110017-0
AAAA-A17- 117022850029-9
Российский фонд фундаментальных исследований 18-29-19069
Работа выполнена в рамках Государственного задания № АААА-А17-117030110017-0, AAAA-A17- 117022850029-9 и при финансовой поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (код про- екта 18-29-19069).
Поступила в редакцию: 19.05.2020
Исправленный вариант: 03.06.2020
Принята в печать: 29.06.2020
Англоязычная версия:
Journal of Applied Mechanics and Technical Physics, 2020, Volume 61, Issue 5, Pages 819–827
DOI: https://doi.org/10.1134/S002189442005017X
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
УДК: 533; 54.057
Образец цитирования: А. К. Ребров, А. А. Емельянов, М. Ю. Плотников, Н. И. Тимошенко, В. В. Терехов, И. Б. Юдин, “Влияние расхода смеси газов на процесс синтеза алмаза из высокоскоростного потока сверхвысокочастотной плазмы”, Прикл. мех. техн. физ., 61:5 (2020), 158–167; J. Appl. Mech. Tech. Phys., 61:5 (2020), 819–827
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{RebEmePlo20}
\by А.~К.~Ребров, А.~А.~Емельянов, М.~Ю.~Плотников, Н.~И.~Тимошенко, В.~В.~Терехов, И.~Б.~Юдин
\paper Влияние расхода смеси газов на процесс синтеза алмаза из высокоскоростного потока сверхвысокочастотной плазмы
\jour Прикл. мех. техн. физ.
\yr 2020
\vol 61
\issue 5
\pages 158--167
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pmtf280}
\crossref{https://doi.org/10.15372/PMTF20200517}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=44093192}
\transl
\jour J. Appl. Mech. Tech. Phys.
\yr 2020
\vol 61
\issue 5
\pages 819--827
\crossref{https://doi.org/10.1134/S002189442005017X}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pmtf280
  • https://www.mathnet.ru/rus/pmtf/v61/i5/p158
    • Эта публикация цитируется в следующих 7 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Прикладная механика и техническая физика Прикладная механика и техническая физика
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:35
    PDF полного текста:1
    Первая страница:3
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024