|
Прикладная механика и техническая физика, 2003, том 44, выпуск 5, страницы 4–11
(Mi pmtf2531)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)
Моделирование спектра излучения молекулы $\mathrm{SiH}$ $(\mathrm{A}^2\Delta\to\mathrm{X}^2\Pi)$ и измерение вращательной температуры состояния $\mathrm{A}^2\Delta$ в электронно-пучковой плазме
Е. А. Баранов, С. Я. Хмель Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе Сибирского отделения Российской академии наук, 630090 Новосибирск
Аннотация:
Выполнено численное моделирование эмиссионного спектра полосы $0$–$0$ перехода $\mathrm{A}^2\Delta\to\mathrm{X}^2\Pi$ молекулы $\mathrm{SiH}$. Полученные результаты хорошо согласуются с известными расчетными и экспериментальными данными. Путем сравнения расчетного и экспериментального спектров определена вращательная температура состояния $\mathrm{A}^2\Delta$ молекулы $\mathrm{SiH}$ в свободной струе чистого моносилана $(\mathrm{SiH}_4)$ и смеси с гелием $(\mathrm{He} + \mathrm{SiH}_4)$, активированной электронным пучком. Подтверждено предположение о том, что излучение молекулы $\mathrm{SiH}$ возникает в результате диссоциативного возбуждения $\mathrm{SiH}_4$ электронным ударом.
Приведены значения вращательной температуры при различных концентрациях моносилана и расстояниях от сопла. В полученных спектрах зарегистрировано излучение иона кремния с длинами волн $412,807$; $413,089$ нм.
Ключевые слова:
оптическая эмиссионная спектроскопия, вращательная температура, электронный пучок, моносилан.
Поступила в редакцию: 20.02.2003 Принята в печать: 20.03.2003
Образец цитирования:
Е. А. Баранов, С. Я. Хмель, “Моделирование спектра излучения молекулы $\mathrm{SiH}$ $(\mathrm{A}^2\Delta\to\mathrm{X}^2\Pi)$ и измерение вращательной температуры состояния $\mathrm{A}^2\Delta$ в электронно-пучковой плазме”, Прикл. мех. техн. физ., 44:5 (2003), 4–11; J. Appl. Mech. Tech. Phys., 44:5 (2003), 605–611
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pmtf2531 https://www.mathnet.ru/rus/pmtf/v44/i5/p4
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 21 | PDF полного текста: | 7 |
|