Прикладная механика и техническая физика
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Прикл. мех. техн. физ.:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Прикладная механика и техническая физика, 2023, том 64, выпуск 5, страницы 39–44
DOI: https://doi.org/10.15372/PMTF202315323 (Mi pmtf1806) 		 
Измерение температуры расплава кремния при электронно-пучковом рафинировании

В. Г. Щукин, В. О. Константинов

Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск, Россия
PDF полного текста (214 kB) Первая страница
Список литературы:
PDF
HTML
DOI: https://doi.org/10.15372/PMTF202315323
Аннотация: Предложен способ измерения температуры расплава кремния при плазмохимическом электронно-пучковом рафинировании, основанный на измерении интенсивности излучения от поверхности расплава материала в ИК-диапазоне и сопоставлении ее с температурой. Установлено, что путем изменения условий рафинирования, в частности силы тока электронного пучка, можно изменять температуру очищаемого кремния в диапазоне 1500 $\div$ 2600 К.
Ключевые слова: пирометрические измерения, температура расплава материалов, рафинирование кремния, электронно-пучковая плазма.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Работа выполнена в рамках государственного задания Института теплофизики СО РАН с использованием уникальной научной установки “Вакуумный газодинамический комплекс” Института теплофизики СО РАН.
Поступила в редакцию: 31.05.2023
Исправленный вариант: 08.06.2023
Принята в печать: 26.06.2023
Англоязычная версия:
Journal of Applied Mechanics and Technical Physics, 2024, Volume 64, Issue 5, Pages 767–771
DOI: https://doi.org/10.1134/S0021894423050048
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
УДК: 533.9.07+669.04
Образец цитирования: В. Г. Щукин, В. О. Константинов, “Измерение температуры расплава кремния при электронно-пучковом рафинировании”, Прикл. мех. техн. физ., 64:5 (2023), 39–44; J. Appl. Mech. Tech. Phys., 64:5 (2024), 767–771
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{ShcKon23}
\by В.~Г.~Щукин, В.~О.~Константинов
\paper Измерение температуры расплава кремния при электронно-пучковом рафинировании
\jour Прикл. мех. техн. физ.
\yr 2023
\vol 64
\issue 5
\pages 39--44
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pmtf1806}
\crossref{https://doi.org/10.15372/PMTF202315323}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=54618667}
\transl
\jour J. Appl. Mech. Tech. Phys.
\yr 2024
\vol 64
\issue 5
\pages 767--771
\crossref{https://doi.org/10.1134/S0021894423050048}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pmtf1806
  • https://www.mathnet.ru/rus/pmtf/v64/i5/p39
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Прикладная механика и техническая физика Прикладная механика и техническая физика
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025