Прикладная механика и техническая физика
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Прикл. мех. техн. физ.:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Прикладная механика и техническая физика, 2023, том 64, выпуск 5, страницы 27–38
DOI: https://doi.org/10.15372/PMTF202315321 (Mi pmtf1805) 		 
Ферромагнитно-усиленный индукционный разряд низкого давления для ионно-плазменной обработки

М. В. Исупов, В. А. Пинаев

Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск, Россия
PDF полного текста (432 kB) Первая страница
Список литературы:
PDF
HTML
DOI: https://doi.org/10.15372/PMTF202315321
Аннотация: Исследуется генерация низкочастотного индукционного разряда низкого давления с ферромагнитным усилением магнитной связи между индуктором и плазмой. Рассмотрены основные особенности и преимущества данного способа генерации плазмы при его использовании в технологиях ионно-плазменной обработки поверхности материалов. Представлены новые экспериментальные данные об электрофизических и динамических характеристиках ферромагнитно-усиленного индукционного разряда низкого давления в аргоне с добавлением кислорода. Показана возможность управления радиальным распределением параметров плазмы в газоразрядной камере c помощью распределенной генерации разряда. Выявлены существенные колебания температуры электронов в течение периода колебаний электрического поля разряда, рассмотрен механизм их возникновения.
Ключевые слова: индуктивно связанная плазма, электроотрицательная плазма, нестационарный разряд.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации 121031800218-5
Работа выполнена в рамках государственного задания Института теплофизики СО РАН № 121031800218-5.
Поступила в редакцию: 30.05.2023
Исправленный вариант: 13.06.2023
Принята в печать: 26.06.2023
Англоязычная версия:
Journal of Applied Mechanics and Technical Physics, 2024, Volume 64, Issue 5, Pages 757–766
DOI: https://doi.org/10.1134/S0021894423050036
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
УДК: 537.525.7
Образец цитирования: М. В. Исупов, В. А. Пинаев, “Ферромагнитно-усиленный индукционный разряд низкого давления для ионно-плазменной обработки”, Прикл. мех. техн. физ., 64:5 (2023), 27–38; J. Appl. Mech. Tech. Phys., 64:5 (2024), 757–766
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{IsuPin23}
\by М.~В.~Исупов, В.~А.~Пинаев
\paper Ферромагнитно-усиленный индукционный разряд низкого давления для ионно-плазменной обработки
\jour Прикл. мех. техн. физ.
\yr 2023
\vol 64
\issue 5
\pages 27--38
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pmtf1805}
\crossref{https://doi.org/10.15372/PMTF202315321}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=54618663}
\transl
\jour J. Appl. Mech. Tech. Phys.
\yr 2024
\vol 64
\issue 5
\pages 757--766
\crossref{https://doi.org/10.1134/S0021894423050036}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pmtf1805
  • https://www.mathnet.ru/rus/pmtf/v64/i5/p27
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Прикладная механика и техническая физика Прикладная механика и техническая физика
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025