Прикладная механика и техническая физика
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Прикл. мех. техн. физ.:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Прикладная механика и техническая физика, 2023, том 64, выпуск 5, страницы 17–26
DOI: https://doi.org/10.15372/PMTF202315309 (Mi pmtf1804) 		 
Газоструйный синтез из активированной в СВЧ-разряде смеси H$_2$ + CH$_4$ + Ar алмазных покрытий на кремниевых подложках

А. А. Емельянов, М. Ю. Плотников, Н. И. Тимошенко, И. Б. Юдин

Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск, Россия
PDF полного текста (1730 kB) Первая страница
Список литературы:
PDF
HTML
DOI: https://doi.org/10.15372/PMTF202315309
Аннотация: Развивается газоструйный метод синтеза алмазных покрытий c использованием высокоскоростной струи для переноса активированной в СВЧ-разряде смеси газов (водорода, метана и аргона) к кремниевой подложке. Разработан подложкодержатель, позволяющий сохранять целостность подложки при термических нагрузках в условиях газоструйного осаждения. Получена скорость синтеза алмаза, превысившая достигнутую ранее в газоструйных экспериментах с активацией в СВЧ-плазме без добавления аргона.
Ключевые слова: алмаз, газофазный синтез, СВЧ-разряд, газоструйное осаждение, кремний, аргон.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации 121031800218-5
Работа выполнена в рамках государственного задания Института теплофизики (бюджетный грант № 121031800218-5).
Поступила в редакцию: 24.05.2023
Исправленный вариант: 01.06.2023
Принята в печать: 26.06.2023
Англоязычная версия:
Journal of Applied Mechanics and Technical Physics, 2024, Volume 64, Issue 5, Pages 748–756
DOI: https://doi.org/10.1134/S0021894423050024
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
УДК: 533; 54.057
Образец цитирования: А. А. Емельянов, М. Ю. Плотников, Н. И. Тимошенко, И. Б. Юдин, “Газоструйный синтез из активированной в СВЧ-разряде смеси H$_2$ + CH$_4$ + Ar алмазных покрытий на кремниевых подложках”, Прикл. мех. техн. физ., 64:5 (2023), 17–26; J. Appl. Mech. Tech. Phys., 64:5 (2024), 748–756
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{EmePloTim23}
\by А.~А.~Емельянов, М.~Ю.~Плотников, Н.~И.~Тимошенко, И.~Б.~Юдин
\paper Газоструйный синтез из активированной в СВЧ-разряде смеси H$_2$ + CH$_4$ + Ar алмазных покрытий на кремниевых подложках
\jour Прикл. мех. техн. физ.
\yr 2023
\vol 64
\issue 5
\pages 17--26
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pmtf1804}
\crossref{https://doi.org/10.15372/PMTF202315309}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=54618659}
\transl
\jour J. Appl. Mech. Tech. Phys.
\yr 2024
\vol 64
\issue 5
\pages 748--756
\crossref{https://doi.org/10.1134/S0021894423050024}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pmtf1804
  • https://www.mathnet.ru/rus/pmtf/v64/i5/p17
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Прикладная механика и техническая физика Прикладная механика и техническая физика
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025