|
Прикладная механика и техническая физика, 2009, том 50, выпуск 2, страницы 145–151
(Mi pmtf1726)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 8 научных статьях (всего в 8 статьях)
Генерация и регистрация возмущений в потоке газа. 1. Формирование массивов микротрубчатых нагревателей и сенсоров
В. А. Селезневa, В. Я. Принцa, В. М. Анискинb, А. А. Масловb a Институт физики полупроводников СО РАН, 630090 Новосибирск
b Институт теоретической и прикладной механики им. С. А. Христиановича СО РАН,
630090 Новосибирск
Аннотация:
Предложен новый способ создания саморегулирующейся поверхности для подавления турбулентности и сохранения ламинарного режима сверхзвукового обтекания. Разработаны методы формирования сверхбыстродействующих измерительных и исполнительных элементов такой поверхности. Предложены конструкции указанных элементов (сенсоров и актюаторов), представляющие собой изготовленные из SiO$_2$/Si$_3$N$_4$/Au и InGaAs/GaAs/Au и подвешенные над подложкой микротрубки, стенки которых имеют нанометровую толщину и к которым подсоединены электрические контакты. Макеты распределенных массивов трубчатых микросенсоров и микроактюаторов изготовлены в едином технологическом процессе с использованием хорошо развитой планарной технологии и технологии сворачивания напряженных гетеропленок.
Ключевые слова:
трубчатые сенсоры и актюаторы, массивы микротрубок, управление течениями.
Поступила в редакцию: 25.10.2007 Принята в печать: 24.12.2007
Образец цитирования:
В. А. Селезнев, В. Я. Принц, В. М. Анискин, А. А. Маслов, “Генерация и регистрация возмущений в потоке газа. 1. Формирование массивов микротрубчатых нагревателей и сенсоров”, Прикл. мех. техн. физ., 50:2 (2009), 145–151; J. Appl. Mech. Tech. Phys., 50:2 (2009), 291–296
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pmtf1726 https://www.mathnet.ru/rus/pmtf/v50/i2/p145
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 20 | PDF полного текста: | 6 |
|