Эмиссия димеров с подложки при вакуумном осаждении тонких пленок

Вычислена эмиссия димеров с подложки в паровую среду в случае осаждения пара серебра на идеальную подложку. Показано, что димеры формируются на подложке вследствие случайных столкновений атомов при их поверхностной миграции, а эмиссия димеров обусловлена тепловыми флуктуациями кристаллической решетки подложки. В результате расчетов, выполненных на основе модифицированной модели сорбции Ленгмюра, установлено, что эмиссия имеет место преимущественно на стадии заполнения первого атомного слоя на подложке и в режимах “срыва конденсации”, когда даже при больших степени пересыщения и частоте нуклеации интенсивной конденсации не происходит, поскольку энергия связи атомов пара с подложкой мала. Обнаружена связь эмиссии димеров с интенсивностью конденсации и микрошероховатостью конденсата на подложке.